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四探针测试仪的特点

2021-03-24

  对于四探针测试仪这种设备您了解多少?很多人都是在用到的时候,才会多少了解一些。为此下面小编就为您详解四探针测试仪的特点。

  本设备是应用四探针测量工作原理的多功能概括测量设备。该仪器按照单晶硅物理测试方式国家标准规范并参考美国A.S.T.M标准规范而制定的,常用于测试半导体材料电阻率及方块电阻(薄层电阻)的专用仪器。仪器由主机、测验台、四探针探头、计算机等部分组成,测量数据既可由主机直接呈现,也可以由计算机控制测试收集测试数据到计算机中具体分析,随后以表格,图形方式统计分析呈现测试结论。

  四探针测试仪选用了新电子信息技术开展制定、组装。具备作用挑选直观、测量取数快、高精度、测量规模宽、稳定性好、结构紧凑、易操作等特点。本仪器的特点是主机装备双数字表,在测量电阻率的一起,另一块数字表(以万分之几的精确度)及时检测全过程的电流更改,摒弃了测量电流/测量电阻率的转换,更及时把握测量电流。主机还供给精确度为0.05%的恒流源,使测量电流高度稳定。本机装有恒流源开关,在测量某一些箔层材料时,可摒弃探针尖与被测材料之间触摸火花的发生,好地维护箔膜。仪器装备了本公司的专利技术:"小迟疑四探针头",探针迟疑率在0.1——0.2%。保证 了仪器测量电阻率的重复性和准确度。本机如配加HQ-710E数据处理器,测量硅片时可积极主动开展厚度、直径、探针距离的批阅,并计算、打印出硅片电阻率、径向电阻率的大百分更改、均值百分更改、径向电阻率不均匀习庋。给测量提供较大便捷。


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