电阻率的测量是半导体材料常规的参数测量项目。有许多方法可以测试电阻率，如三探针法，电容---电压法，扩展电阻法等。目前广泛采用的标准方法是四探针法，最常用的是半导体工艺法。该法设备简单，操作方便，对样品几何尺寸要求不严格，精度高。除了测量半导体材料的电阻率，四探针测试仪在半导体器件的生产中也得到了广泛的应用，用来测量薄层扩散层的电阻，从而判断扩散层的质量是否符合设计要求。

当材料切分成多个方体时，其平行面与相对角的电阻值仅与材料类型有关，而与正方形边长无关。电阻率可以反映材料单位体积的导电性，称为电阻率。四探针测试仪在将薄膜导体和半导体材料切成薄层方块时，平行面和相对面之间的电阻值仅与材料的种类和厚度有关，而与正方形边长无关。

数字式四探针测试仪是一种多功能综合测量仪，利用四探针测量原理测量电阻率/方阻。可根据材料的不同性质要求配备多种试验探头：

大功率耐磨碳化钨探头，测量硅半导体、金属、导电塑料等硬质材料的电阻率/方块电阻；球形镀金铜合金探针，用于测量半导体材料的电阻率/方块电阻，如柔性材料导电膜、金属涂层或薄膜、陶瓷或玻璃基板上的导电膜(ITO薄膜)或纳米涂层；四探针测试仪组合测试夹具，测量电阻体电阻、金属导体的中低电阻和开关接触电阻；一种特殊的探针用于测试箔片(如电池极片)上涂层的电阻率/方块电阻。