四探针电阻率测试仪是用于精确测量半导体器件（主要是硅单晶、锗单晶体、单晶硅片）电阻，及其扩散层、外延性层、ITO导电性箔膜、导电胶方块电阻的检测仪器。电阻率测试仪的使用要特别注意下面事项：

　　1、测试电源，电源电压值应当在220V上下，工作电压偏差不可以过2%，不然危害检测校准，偏差过大甚至于会损坏电源电路。（AC110V使用必须配置AC110V转AC220V电压转换器）

　　2、接好测试连接线，测试线连接到仪器设备处时，尽量保证仪器设备上电源插座的突起与测试连接线电源插头的凹形槽相匹配好，并将螺圈扭紧。

　　3、接好电源插头；通电，电源开关的开关电源灯照亮（若开关电源灯不闪，四探针电阻率测试仪需要拆换在后控制面板电源线插头处的熔断丝，规格型号为1A）。

　　4、将测试探针触碰被测的试品：n照亮意味着N型的半导体器件；p照亮意味着P型原材料；假如碰到2个数码显示管均没亮，般状况下以很低的电阻（<10-2下面），这时，无源蜂鸣器和绿灯应处于警报情况。

　　5、绿灯亮及无源蜂鸣器响时为设置的低电阻器下面及重掺警报。

　　6、四探针电阻率测试仪在测定时，为保证检测致性，探头需竖直点在接触面积上，探头的大歪斜视角不可以过20度；探头检测时切勿用力压究竟，以扭簧缩的限长短为限。检测时，探头入针套3/4以上，那样可以运用扭簧的能量使精确测量的致性优良。