1、接好插头线，保证 开关电源为220VAC/50Hz。

　　2、连接表面电阻率测试仪开关电源，将电流量电阻测量范围放置于104档，工作电压测量范围放置于10V随后开启设备。

　　3、在“Rx”两边开路的状况下，调校使电流计的显示信息为0000。特别注意：在“Rx”两边不开路，如接在电阻箱或被测物件上时调校后精确测量会出现较大的偏差。通常一次调校后在检测操作过程中也就不需再调校，进行后关机。

　　4、表面电阻率测试仪将测试连接线将主机与屏蔽箱连接好，测容积电阻时检测按钮调到Rv边，测表面电阻率时检测按钮调到Rs边，进行后开启设备。

　　5、挑选合适的精确测量工作电压，工作电压选择开关在后面板，在检测操作过程中不可以随便修改精确测量工作电压，工作电压过高或电流量过大很有可能破坏仪器或被检测器件。

　　6、逐渐开始精确测量，精确测量时从低档位慢慢拔往高端位，每拨一次稍滞留1——2秒以便观查显示信息数据，当被测电阻高于仪器测量测量范围时，电阻表显示信息“1”，这个时候应立刻将表面电阻率测试仪调到测量范围较高具体位置；当测量仪器有显示信息值时应停下来，现阶段的数据乘以级别就是被测电阻功率，千万别往更高端位拨，否测仪器会过测量范围，机内维护电路逐渐开始工作会直接影响精确测量精确度。

　　7、表面电阻率测试仪结束将电阻电流量测量范围拔至“104”档，工作电压测量范围设置成10V后关掉电源，为了避免开启设备或精确测量端短路而破坏仪器。